二手 LAM RESEARCH Extrima 3100 #9270874 待售

LAM RESEARCH Extrima 3100是一款為半導體蝕刻和基板制備應用而設計的高級蝕刻器/asher。這臺多用途的機器通過一系列功能提供卓越的蝕刻性能,從而實現高效的晶圓處理。機器配備了一組可靠的過程參數，可以根據手頭的應用進行定制。它具有高精度直流偏置電源，用於精密蝕刻和最大程度的工藝控制。雙區域線性蝕刻系統對高通量蝕刻具有較快的掃描速度。蝕刻室為陶瓷襯裏，用於均勻蝕刻和基材保護。此外，它還配備了集成電離器，在處理過程中中和靜電荷。該機采用自動化過程控制和低功耗功能進行設計,以最小的能耗實現最佳蝕刻性能。它還提供可靠的性能在一個緊湊的設計和觸摸屏控制面板直觀操作。Extrima 3100除了具有核心蝕刻/灰化功能外,還提供厚度測量、晶體分析和PVD分析等分析和診斷功能。還配備了用於改進操作和維護的安全功能。LAM RESEARCH Extrima 3100是一款專門為半導體行業設計的高級蝕刻器/asher，提供卓越的蝕刻性能。其工藝參數的範圍，綜合分析和診斷的特點，使晶圓處理效率高，具有高度的準確性和可靠性。它是快速、精確的蝕刻和基材制備應用的理想機器。