二手 LAM RESEARCH Extrima 3100 #9270994 待售

LAM RESEARCH Extrima 3100是一款為半導體制造而設計的最先進的蝕刻/asher設備。該系統使用基於真空的工藝將圖樣或特征蝕刻到基材中。蝕刻過程利用等離子體、反應性離子和揮發性氣體來創建不同幾何形狀、大小和深度的圖樣。Extrima 3100單元常被稱為介電蝕刻器，針對硬掩模（HM）等離子體增強型化學氣相沈積（PECVD）、幹蝕刻和深反應性離子蝕刻（DRIE）等工藝進行優化。該機采用多源直流電源供電,可提供最大25kW功率。它旨在提供高吞吐量、出色的統一性、嚴格的過程控制和快速的過程運行時間。LAM RESEARCH Extrima 3100配備了多種特性和功能，使其成為半導體制造的一個有吸引力的選擇。它提供了一系列過程控制功能，使用戶能夠準確、輕松地編程和調整過程參數，如RF功率、RF頻率、氣體壓力、定時和過程壓力。該工具還能夠進行復雜的流程分析，例如收集數據點以提供詳細的流程結果。此外,該資產還可以生成全面的晶圓圖和工藝歷史報告。Extrima 3100采用了一種創新的安全模式，旨在保護用戶免受潛在危害。其安全設備包括減壓門、安全聯鎖、溫度、流量和氣體監控器，以及緊急停止按鈕。該系統還可以配置不可蒸發吸氣器（NEG）泵隔離閥，以進一步限制潛在危險。總體而言,LAM RESEARCH Extrima 3100是一個功能強大且可靠的蝕刻器/asher單元。其特點和功能使其成為半導體制造的完美解決方案。它的精確度、安全性和易用性使得它成為任何制造工藝都不可否認的有吸引力的選擇。