二手 LAM RESEARCH Extrima 3100 #9314231 待售

LAM RESEARCH Extima 3100是一款蝕刻器/asher,旨在為各種微加工半導體和MEMS元件提供精確、高質量的蝕刻和灰化工藝。該設備提供了實現均勻覆蓋和細線分辨率所必需的先進能力，從而能夠生產專用微電子器件。它采用先進的材料來提高吞吐量和更大的蝕刻深度。該系統還符合清潔和可重復處理結果所需的嚴格規格。Extima 3100具有先進的定向蝕刻裝置,具有氣體混合比控制器和多重速度選擇功能,使用戶能夠快速、準確、重復地蝕刻和粉刷各種材料。它還具有高精度的端點檢測機，可以對蝕刻過程進行極其精確的控制。使用此工具,可以輕松監控和優化蝕刻時間和所需的特征大小。此外，資產的控制軟件使其能夠在各種模式下運行，包括過程脈沖和偏置射頻蝕刻。LAM RESEARCH Extima 3100 蝕刻器/asher包括一個自動補充模型，以維持可重復過程的最佳腔室條件。由於該設備不斷循環和補充加工氣體，因此無需人工添加，有助於延長過程維護間隔。此外,它的集成工具設置程序不需要很長的安裝時間,從而實現了一致的生產吞吐量。連同其強大的軟件套件，系統提供了一系列用戶定義的流程和完整的SPC（Statistical Process Control）支持。這為用戶提供了完整和可定制的過程控制,包括配方生成和完整的記錄保存功能。總而言之，LAM RESEARCH Extima 3100 蝕刻器/asher為復雜微電子器件的制造提供了一個強大的單元。其先進的蝕刻能力和廣泛的控制選項為產生一致、高質量的結果提供了必要的精確度和可重復性。其自動補給機簡化了維護和設置，而其易於使用的軟件套件則有助於確保可重復、無錯誤的流程。最後,憑借其完整的SPC和配方生成功能,Extima 3100為用戶提供了提供專用高端設備所需的靈活性和控制。