二手 LAM RESEARCH Flex 45 #293587510 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一種單晶片蝕刻和asher工具,可提供廣泛的過程控制和靈活性。具有業界領先的腔室設計，包括可編程驅動和主動流體控制等專利技術，先進的工藝均勻性，優越的粒子控制。這使得它非常適合MEMS、納米加工和其他需要精密蝕刻和灰化工藝的應用。其內部架構設計用於單晶片並行蝕刻和灰化，實現了高吞吐量和高級工藝一致性。這使得它成為各種半導體應用中蝕刻和灰化應用的絕佳選擇。Flex 45具有一個大面積腔室,可在單個平臺中支持各種流程。它配備了渦輪增壓器設計以及一系列mV和nA精密蝕刻和灰化技術,這些技術經過優化以處理各種應用。采用主動流量控制系統，通過自動調節流量和壓力，保證了蝕刻和灰化過程的高均勻性。此外，其工藝控制技術降低了總體擁有成本，為蝕刻和灰化應用提供了先進的工藝控制和統一性。這種蝕刻和灰化器還提供卓越的顆粒控制與先進的過濾器解決方案，保證清潔，無顆粒蝕刻和灰化室。它采用高級工程功能（如自我診斷和遠程監控）,可確保最佳正常運行時間和可靠性能。它還具有廣泛的安全功能，包括傳感器和聯鎖裝置，以防止晶圓和工藝部件受到損壞。總體而言,LAM RESEARCH Flex 45是一款真正獨特的蝕刻和粉碎機,具有多種功能,可確保在一系列應用程序中的卓越質量和可靠性能。Flex 45結合先進的工藝控制和均勻性、卓越的顆粒控制以及出色的可靠性和正常運行時間,是需要精密蝕刻和灰化的應用的理想選擇。