二手 LAM RESEARCH Flex 45 #293589578 待售

LAM RESEARCH Flex 45（蝕刻器/asher）是一款用於半導體工業的先進蝕刻設備。這種剛性的多功能工具為執行復雜的蝕刻操作提供了必要的靈活性。Flex 45利用高壓電、內置工藝、高精度和堅固的材料,能夠產生高質量的結果。LAM RESEARCH Flex 45的設計註重靈活性和工藝能力。它配備了用戶可選擇的蝕刻室尺寸，最大可達45厘米，使用戶能夠根據自己的特殊需求定制其功能。根據其應用的大小和復雜性，可以使用相同大小的多個會議廳或多個會議廳的組合來執行手頭的任務。該工具還配備了最新的射頻脈沖技術，使用戶能夠調整工藝參數，並從各種蝕刻配方中進行選擇，以適應不同的材料和復雜的蝕刻操作。此外，利用一臺發電機處理多個腔室，不同蝕刻應用程序不需要額外的硬件或軟件。為確保精度,Flex 45采用了全機械的「開環」設計,確保了可重現的蝕刻工藝。加上集成的CO2激光源，這會導致較小的工藝變化，減少可能的誤差，並增加每個蝕刻配方的吞吐量。這也使得可以將DRIE（深層反應性離子蝕刻）等關鍵特征與蝕刻回或化學機械平面化等化學應用結合起來進行蝕刻。LAM RESEARCH Flex 45是一種可靠的蝕刻系統，旨在長期可靠地運行。此外,還提供許多客戶服務和支持選項,以確保系統及其硬件和軟件的維護。總之,Flex 45是一款先進的蝕刻器/asher,它提供了最佳的靈活性、精度和可靠性,同時保持了所需的高質量結果。