二手 LAM RESEARCH Flex 45 #293652872 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款高精度的蝕刻器/asher，設計用於對復雜的基板進行超精確、可靠的處理以及在蝕刻和灰化領域的應用。利用先進的運動和溫度控制技術,為微電子行業的關鍵應用提供了卓越的過程均勻性、高吞吐量和嚴格的特征尺寸控制。Flex 45配備了全場、真正的各向同性、電容耦合等離子體（CCP）蝕刻能力，配合微機械微電極技術提供極高分辨率的蝕刻性能。通過更好地控制過程中的能量耦合和功率密度,LAM RESEARCH Flex 45可以最小化處理時間,並最大限度地減少由於不均勻的等離子體暴露而造成的不良副作用,從而導致處理不一致。此外,Flex 45還通過強大的控制器提供高級過程控制,該控制器允許實時過程監控,以便快速調整曝光、溫度和其他參數。它采用堅固的結構框架和不銹鋼腔室堅固耐用，旨在在廣泛的工藝條件下提供出色的熱和機械穩定性。該系統還具有先進的惰性氣體管理系統，可提供非常精確和可重復的配方控制氣體管理。這確保了可靠和高效的等離子體工藝，並對工藝參數進行嚴格控制，以用於高產蝕刻或灰化生產。最後,LAM RESEARCH Flex 45包括一個全面的接口和通信終端（ICT）,它有助於管理自動化過程控制和數據采集的各個方面。此終端有助於減少編程時間和工作量,並允許操作員輕松訪問配方和設置參數。它具有錯誤監視、參數記錄和變量顯示功能,以及直觀的用戶界面。這使得它成為精密蝕刻和灰化過程的強大工具。