二手 LAM RESEARCH Flex 45 #293809879 待售
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ID: 293809879
優質的: 2007, 2009
Etchers
(1) Equipment Front-End Module (EFEM)
(1) Transport Module (TM)
(1) Gate Interface Box (GIB)
(3) C/Bs
(3) Gas boxes
(3) RF carts
(1) Air Conditioning (AC) rack
(1) Remote Process Data Box (RPDB)
(3) Load ports
Covers
(2) Parts boxes
2007, 2009 vintage.
LAM RESEARCH Flex 45是一種高度先進的蝕刻/asher工具，主要用於先進的半導體器件制造。Flex 45在超小型軟件包中提供高吞吐量蝕刻和灰度處理功能,可增強流程靈活性,同時最大限度地減少空間需求。LAM RESEARCH Flex 45具備大體積並行處理等先進設備功能,可適應廣泛的薄膜蝕刻和灰化應用。Flex 45通過其動態過程參數支持各種晶片的均勻性。這些參數可以通過操作員控制臺的用戶友好界面進行調整，包括基板調諧、氣流控制、源電源等。隨著多頻電源的可用性，選擇適合任何給定信道或晶圓的電源的能力提高了吞吐量和質量。LAM RESEARCH Flex 45除了具有令人印象深刻的蝕刻和灰度處理功能外,還提供了操作過程中必不可少的高級安全功能。它有一個可自由編程的安全互鎖和緊急關機，如果操作溫度超過某個用戶定義的閾值，就會進行。這確保了對人員、材料和設備的保護。為了獲得最佳效果,適當的培訓和維護對於Flex 45的正常運行至關重要。全面的培訓程序為用戶提供處理任何操作或流程相關問題所需的工具和知識。作為其維護方案的一部分，每周進行一次實地視察，以確保適當運作並防止任何意外停機。最後，LAM RESEARCH Flex 45是一款非常先進的蝕刻器/asher，非常適合半導體行業的應用。Flex 45由於其多頻電源、調諧工藝參數的能力以及安全特性，提供了高吞吐量和高質量的效果。除了適當的培訓和維護外,LAM RESEARCH Flex 45是一種可靠且易於使用的工具,是任何現代半導體器件制造過程取得成功的基礎。
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