二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9241255 待售

LAM RESEARCH Flex 45 Asher是一種高精度的工具，用於進行濕蝕刻和幹蝕刻過程。該設備的設計可提供精確的蝕刻和清潔功能,並具有精確的緯度控制和靈活性。Flex 45的獨特特點包括功能強大、自成一體的離子束蝕刻室、廣泛的蝕刻和清潔工藝，以及處理軟硬材料的能力。該設備既能進行線性和旋轉位移控制，又能執行多步驟過程。LAM RESEARCH Flex 45系統包括一個包含低溫等離子體源的真空密室，用於蝕刻和清潔基板。這種等離子體源設計用於犧牲和選擇性蝕刻，以及幹洗能力。Flex 45還包含一個機械臂，能夠將基板移入和移出加工位置，以及精確的方向和角度定位。除了機械臂，LAM RESEARCH Flex 45還包含一個過程控制單元，配有基於PC的軟件、數據記錄器和氣動計時器，用於精確定時和控制蝕刻過程。Flex 45的靈活性被證明是主要賣點,因為該工具旨在對各種材料進行各種蝕刻過程。LAM RESEARCH Flex 45能夠通過單步和多步工藝進行RIE和DRIE蝕刻以及帶狀蝕刻。另外，Flex 45可以提供離子束蝕刻工藝，這對於難以蝕刻的材料，例如氮化鋁來說是一種理想的技術。除了這些專門的蝕刻工藝之外，LAM RESEARCH Flex 45還包括濕蝕刻和清潔工藝，以及廣泛的預處理周期，以幫助確保最高級別的工藝可重復性和準確性。Flex 45直觀的操作機器使用戶能夠控制成功的蝕刻或清洗過程所必需的幾乎所有參數。全自動過程控制工具為LAM RESEARCH Flex 45提供了自我監控的能力,確保過程的每個步驟都能正確高效地執行。Flex 45擁有大量可用的工藝及其先進的自動化功能,是任何蝕刻或清潔任務的理想工具。