二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9260520 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款高精度的蝕刻器/asher，非常適合精密晶圓處理。它是專門為提高生產力和多功能性而開發的。該工具提供了一個連續移動的過程,導致高吞吐量和短周期時間。Flex 45在單個工具中結合了蝕刻和灰分過程,在高吞吐量下提供了卓越的結果。LAM RESEARCH Flex 45采用單室工藝,可以同時進行蝕刻和灰分工藝。將蝕刻工藝和灰分工藝結合在同一腔室中，可實現更高質量的產品，這些產品需要更少的步驟來制造。這種高精度的蝕刻和灰分工藝旨在最大限度地提高吞吐量、最大限度地減少周期時間並最大限度地減少維護。Flex 45的設計允許多個晶片並行處理，而無需將晶片從一個工作站傳輸到另一個工作站。LAM RESEARCH Flex 45的設計包括兩個向相反方向移動的石英板系統。這種雙層設備有助於通過最小化晶圓變形和錯位來提高可重復性。壓板系統也有助於最小化粒子生成。Flex 45 蝕刻器/asher配備了先進的過程控制和監控軟件。此軟件由板載實時數據收集單元組成,允許自動或手動調整參數以優化流程條件。該軟件還包括一臺車載物種監測機器，以幫助評估不同的蝕刻和灰分工藝如何受到不同工藝條件的影響。LAM RESEARCH Flex 45旨在安全處理高熱負荷，如深晶圓蝕刻。它還支持廣泛的材料，包括不同類型的陶瓷、鋁、鈦。它還能夠處理上面有沈積物的表面，如金屬、電介質和電致發光材料。Flex 45能夠提供具有快速吞吐量的可重復、均勻的蝕刻/灰化過程。它還具有強大的工具設計,可最大限度地減少維護和提高生產率。