二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9281284 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款用於各種半導體應用的PECVD 蝕刻器/asher。這種高度先進的蝕刻器/asher提供高分辨率的工藝能力,能夠精確控制尺寸、均勻性和各向異性。Flex 45的腔室設計具有平坦的底部排源隔離和高真空室。腔室設計為減少工藝漂移，優化基板均勻性，使處理器達到更高的性能水平。LAM RESEARCH Flex 45提供了一系列功能和功能,可根據每個用戶的確切需求進行定制。可調基板加熱器和先進質量流控制器（MFC）可實現雙層、多晶矽工藝。這使得該工藝能夠優化，以獲得最小的光致抗蝕劑出血和最小的摻雜吸收的高質量結果。內置預防性維護功能有助於減少停機時間,並確保系統定期進行維護,以防止出現流程錯誤。Flex 45還具有多種安全功能，如打開腔室時的自動過程關閉、緊急門關閉和溫度設定值限制。這樣可確保最小化流程錯誤並確保用戶安全。LAM RESEARCH Flex 45由高端半導體控制模塊（SCM）提供動力。此高級控制器可實時監視和調整蝕刻配方,同時提供高級報告功能和蝕刻過程的可追蹤性。Flex 45旨在提供最大吞吐量和卓越的統一性,最小的停機時間和卓越的工藝質量。它非常適合大批量生產半導體器件,為各種技術提供經濟高效且可靠的結果。