二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9298282 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款高性能、高生產率的蝕刻/粉碎機,旨在滿足各種材料和工藝的生產要求。這種多功能設備具有多波形射頻功率、深層無功離子蝕刻（DRIE）和先進工藝控制等先進技術。Flex 45利用極紫外蒙版和高分辨率電子束光刻技術在晶圓上創建亞微米分辨率的圖樣。憑借其先進的工藝控制硬件，LAM RESEARCH Flex 45還允許用戶精確控制影響蝕刻或灰化過程的參數。該系統還提供多種氣體功能以及快速執行單個晶圓或多個晶圓配方的能力。Flex 45單元以其可重復性和穩定性而聞名,能夠在很長一段時間內實現統一的過程結果。這是由事實證明，機器保持良好的重復性和分布過程副產品。該工具的整體一致性還有助於減少因流程差異而導致的線路停機時間。由於LAM RESEARCH的技術知識和對產品創新的熱情,LAM RESEARCH Flex 45提供了先進的自動化功能,可提高蝕刻/灰化過程的效率。其突出的功能包括選擇性區域清潔（SAC）和動能管理（KEM）,後者幫助用戶更快、更有效地清潔蝕刻區域,並幫助減少因工具與工具交互而造成的意外災難數量。Flex 45具有魯棒性和多功能性。這款蝕刻/灰燼能夠在不同的基板上進行各種操作，並且設計為滿足嚴格的性能要求。它的高級功能使用戶能夠在比傳統工藝更短的時間內生產復雜的產品。此資產還提供了高水平的流程質量控制,最大限度地減少了停機時間並確保了一致的流程。