二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9298284 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款蝕刻器/asher，旨在為各種用途的各種材料的蝕刻和灰分處理提供高效可靠的平臺。Flex 45提供兩室配置,兩室均針對蝕刻和灰燼操作進行了優化。它的第一個腔室利用低壓、高真空環境在蝕刻前清潔汙染物晶片。第二室經過優化，為蝕刻/灰分操作提供等離子體控制和均勻性。LAM RESEARCH Flex 45提供了廣泛的功能,可在多個晶圓尺寸上實現精確、均勻的蝕刻和灰分結果。特別是,高級自動化協議使用戶能夠使用直觀的菜單驅動軟件快速輕松地調整蝕刻配方。Flex 45還包括各種傳感器和顯示器,以確保適當維護各種條件以保證最高性能。LAM RESEARCH Flex 45配備了廣泛的加工元件和材料，具有柔性蝕刻能力，包括高功率射頻電源、垂直和水平腔室的多重卡盤設計，以及眾多氣體輸送系統。這些元件結合了Flex 45專有的雙區蝕刻/灰燼控制系統，可用於調制蝕刻時間、氣壓和溫度，以優化針對特定材料和應用的蝕刻和灰燼工藝。LAM RESEARCH Flex 45還提供一系列安全功能,以保護人員免受任何潛在危害。這些功能包括在發生警報時的自動緊急關閉能力、監測過程氣體、真空水平和溫度的能力，以及限制進入特定區域的綜合出入控制系統。Flex 45結合了精密蝕刻/灰分技術、先進的自動化功能和強大的安全功能,是快速高效處理的理想平臺。LAM RESEARCH Flex 45是一款可靠靈活的蝕刻器/asher,可為用戶提供可重復的結果,並在多種材料中提供最高級別的性能。