二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9308360 待售
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LAM RESEARCH Flex 45是一款高性能、全自動的化學蝕刻器/asher設備,專為一系列高級應用而設計。Flex 45是一種先進的基於多功能、過程可編程技術的蝕刻器/asher系統。它設計用於各種蝕刻/灰化應用程序的最大蝕刻均勻性、靈活性和生產率。即使在處理日益復雜和敏感的3D結構時,該設備也能實現卓越的精度和設備與設備之間的一致性。機器配備了一整套強大的過程和安全控制功能，允許用戶優化他們想要的蝕刻/灰化結果。它采用獲得專利的微處理器和專有軟件設計,為過程維護和控制提供快速、準確的反饋。LAM RESEARCH Flex 45為高精度、高通量、高品質晶圓表面轉換而設計。Flex 45是一種高效、低成本的工具,可提供高通量和高精度的蝕刻/灰分結果,而對化學品的使用要求更低。該資產設計允許低顆粒流速、低背景金屬汙染水平以及易於從化學模式轉換為氣體模式。它具有極快的轉換時間、可手動調節的沈積速率和寬廣的過程窗口。該模型提供了處理大範圍晶圓尺寸和材料的靈活性，包括單面和雙面、高密度互連、SiC、GaN和其他材料。LAM RESEARCH Flex 45根據應用提供一系列高性能、定制蝕刻/灰分工藝模塊，包括CMP漿料、PECVD和ALD。Flex 45還提供先進的清潔和蝕刻/灰化解決方案。專門的非接觸式自潔技術有助於減少汙染並提高設備性能。設備的自動化過程控制和維護功能簡化了操作,並最大程度地減少了停機時間,從而確保了最大的可用性和成本節約。LAM RESEARCH Flex 45非常適合高級蝕刻/灰化應用。它是一個高性能、全自動的化學蝕刻器/asher系統,提供了一整套功能,可實現可靠的高精度、高通量蝕刻/ashing結果。Flex 45旨在提供最大的靈活性、統一性和生產率,同時降低化學品和材料的成本和浪費。
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