二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9314597 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款多功能的蝕刻器/灰化器,旨在滿足關鍵設備結構最苛刻的蝕刻和灰化要求。Flex 45能夠在平面和3維表面上進行蝕刻和灰化,其性能優於傳統蝕刻器。LAM RESEARCH Flex 45使用經過優化的配方構建器,可以快速準確地處理任何配方。這與改進的介質靈活性相結合,使Flex 45成為各種蝕刻和灰化應用程序的理想解決方案。LAM RESEARCH Flex 45設計有一個可調節的平臺，可以精確處理各種尺寸的晶圓和基材，以及不同的蝕刻/灰化要求。它還具有簡單直觀的控制設備，允許用戶在蝕刻配方或自動運行序列之間快速切換。蝕刻室和邊緣環由鋁合金構成，具有卓越的耐用性，使Flex 45可以處理壓力、溫度和氣流的快速變化。LAM RESEARCH Flex 45是第一款提供廣泛媒體靈活性的蝕刻器/asher，允許用戶同時操作多個蝕刻配方。它也是第一個提供高級輪廓控制功能以減少過度蝕刻和不足蝕刻的蝕刻器/蝕刻器。此外,Flex 45還啟用了硬編碼數據記錄功能,提供了蝕刻或灰化過程中配方設置和活動的詳細記錄。LAM RESEARCH Flex 45還提供了一系列先進的安全功能，包括內置的安全聯鎖系統和氣體傳感器。這些安全功能確保Flex 45始終以安全和合規的方式運行。安全聯鎖單元可防止在錯誤設置過程參數時操作蝕刻器/asher,從而使用戶無需停止機器即可調整設置。氣體傳感器監測惰性氣體和反應物氣體的平衡，以保持必要的安全水平，避免有毒煙霧積聚。總體而言,LAM RESEARCH Flex 45是各種蝕刻和灰化應用的理想蝕刻器/灰化器。它設計為安全可靠,具有直觀的控制工具和先進的介質靈活性,允許用戶在蝕刻配方或自動運行序列之間快速切換。Flex 45一定能滿足要求最苛刻的蝕刻和灰化要求。