二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9314598 待售

LAM RESEARCH Flex 45是專門為大型設備生產應用而設計的下一代蝕刻器/asher。憑借其先進的設計,Flex 45解決了各種各樣的設備體系結構,同時磨練了精度一致性、效率和吞吐量。LAM RESEARCH Flex 45集成了智能、靈活的盒式磁帶到盒式磁帶設備,可支持更好的正常運行時間並確保更高的流程可重復性。它允許快速的刀具設置和基板負載鎖定放置,從而提高了工作效率,甚至減少了維護/重新設計的停機時間。為了優化工藝均勻性,提供了標準配置和定制配置,包括：線性間距、垂直錯位和斜角/帶狀材料。此外，該系統可以接受各種可儲存帶狀金屬材料的蝕刻和灰化應用。Flex 45具有強大的流程診斷單元,可實時監控所有流程參數的效率。這使操作員能夠快速識別流程變化，快速響應流程變化，並根據需要實施糾正措施。此外,該機器還具有多個溫度控制器,可實現多階段穩定,並降低長期運行的溫度漂移。它的高速數字I/O和以太網通信功能提供即時讀出過程狀態和結果,最大限度地減少錯誤並增加輸出。最後,LAM RESEARCH Flex 45結合了一系列安全功能,如可消耗部件的自動關閉和工具安全警報,為操作員提供可靠的過程控制保證,同時進一步提高正常運行時間。結合這些高級工具,Flex 45為大批量生產提供了全面的蝕刻/灰化資產。