二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9315038 待售

LAM RESEARCH Flex 45是為超高蝕刻速率和最優工藝均勻性而設計的高級蝕刻器和asher。使用Uniflex Direct Etch,此設備可以出色地去除物料層,同時提供卓越的輪廓和負載控制。Flex 45還能夠在其廣泛的工藝範圍內實現幾乎所有蝕刻化學。它在一次運行中提供了多個過程步驟的精確同步,以及處理包括金屬箔在內的一系列基板的能力。LAM RESEARCH Flex 45配備了專有高壓設備，能夠提供高達90mTorr的腔室壓力，以提高操作效率。這與一系列電磁驅動的傳輸級相結合，以提供快速和精確的潛艇速率轉移。通過獲得專利的三區陶瓷氣體分配系統實現了最佳工藝均勻性，能夠準確定位本地和全球的蝕刻瞬變。Flex 45還具有現代化的閉環過程控制單元，為蝕刻過程提供了準確性和可重復性。這臺機器包括一個工藝配方控制器、一個先進的氣體控制工具、硬件功能的高級報告和跟蹤，以及在一次運行中控制多個基板的能力。LAM RESEARCH Flex 45是為了在蝕刻一系列基板時最大的能力而設計的，包括厚層的矽片、柔性基板、薄膜、金屬箔和有機基板。它在廣泛的蝕刻化學中提供高度可重復的蝕刻輪廓。這可用於一系列應用，包括深蝕刻、高長寬比蝕刻、盲蝕刻和溝槽。該器件還適用於晶體生長、OLED器件制造、線鍵、MEMS器件、薄膜沈積等。Flex 45采用用戶友好的軟件控件和圖形用戶界面進行設計，以獲得最大的便利。其先進的安全聯鎖資產也提供了額外的一層保護。該設備還能夠在最小的人工幹預下進行高精度的高速生產運行。LAM RESEARCH Flex 45具有出色的工藝一致性,結合其豐富的控制模型,是任何需要一致工藝可靠性和可重復性的蝕刻/灰燼應用的理想選擇。