二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9315039 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款高級蝕刻器/asher，設計用於廣泛的半導體工藝應用。該設備設計緊湊，高度自動化，為敏感材料蝕刻提供了高效、準確的方法。它由堅固的材料構成，保證了系統壽命長和運行效率高。該裝置裝有一個由不銹鋼制成的先進反應室，加熱至較高的工藝溫度，以確保整個工藝過程的精度。反應室配有數字真空壓力控制器，允許對工藝環境進行精確控制。該室還設有噴霧式定向噴射器，能夠有效蝕刻具有均勻蝕刻速率和最小過度蝕刻的基板。Flex 45還具有先進的過程控制器和人機界面（HMI）,可實現全過程控制。此控制面板支持可編程批處理參數,允許操作員存儲流程配方並在必要時將其召回。控制器還提供全方位的流程監控選項,包括手動調節、自動熱管理和高級診斷數據。該機還配備了一個顆粒過濾器工具，它可以過濾掉可能影響蝕刻精度和基材質量的顆粒。這種顆粒控制資產旨在提高蝕刻精度和產量，降低過程汙染風險或與顆粒夾帶相關的其他問題。最後，LAM RESEARCH Flex 45配備了一套安全功能。這些功能包括緊急關閉、安全傳感器和空氣過濾器,可降低危險顆粒進入可用環境或汙染蝕刻/灰燼過程的風險。綜上所述,Flex 45為半導體行業提供了一種創新且可靠的蝕刻器/灰化器,旨在提供精確的蝕刻工藝,並保護人員和設備免受潛在的工藝危害。LAM RESEARCH Flex 45憑借其精密的工藝控制、安全特性和顆粒過濾能力，是蝕刻敏感材料的絕佳解決方案。