二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9315040 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款為高級半導體加工而設計的蝕刻器/asher。它能夠執行各種蝕刻和灰化過程,包括等離子體蝕刻、PRAM蝕刻、離子銑削、蝕刻回印等。針對薄膜蝕刻和灰化工藝進行了優化。Flex 45是一款多工藝設備，配有自動門燃氣櫃。此特性允許多腔過程優化，具有廣泛的等離子體蝕刻化學、過程氣體、壓力和系統功率。該單元用於單個到多個模具封裝,使其適用於各種工藝和材料。LAM RESEARCH Flex 45具有模塊化的腔室設計,可提供高達4腔配置的靈活性。它還包括一個Ultra-High Vacuum （UHV）蝕刻室和一個可選的渦輪泵，使深腔過程成為可能。此外,該腔室還可以配置RF/DC和步進總線模塊,以便進行多過程操作。該機采用數字低壓射頻電源,用於控制蝕刻/灰化過程。它是基於外部或內部晶圓映射的可靠、精確的過程重復性設計。這使得可重復晶片逐個晶片的產量增加。此外，Flex 45還配備了真空抽水工具和沖洗方案，有助於保持一個清潔和多余的無室。LAM RESEARCH Flex 45為可靠的操作和耐用性而設計。它包括高級診斷功能和容錯措施,以確保蝕刻/灰化過程的可重復性和壽命。此外,它還具有觸摸屏圖形用戶界面,可讓操作員直接控制蝕刻/灰化過程。此功能有助於確保精確控制以提高產量和效率。最後，Flex 45是一種針對薄膜蝕刻和灰化工藝進行優化的高度先進的蝕刻/灰化器。它具有模塊化腔室設計、數字低壓射頻電源、可選渦輪泵和觸摸屏界面。該資產專為可靠、可重復和高效的操作而設計,使其成為高級半導體處理的理想選擇。