二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9315041 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款功能強大、速度快、靈活的蝕刻器/asher設備,非常適合各種微納米制造應用。它為蝕刻和灰分工藝提供了廣泛的工藝選擇，包括濕法和幹法等離子體蝕刻和灰分清洗。該系統能夠對包括金屬、電介質、聚合物薄膜和導體在內的各種材料進行蝕刻、灰化和滅活。Flex 45提供出色的工藝重復性,能夠精確控制蝕刻輪廓和成品的表面控制。它具有一個自動塗層控制單元,可確保不同的運行和穩定的蝕刻和灰分配方之間的一致性,以及用於工藝優化的自動參數調整。這有助於確保一致的過程和可重復的結果。LAM RESEARCH Flex 45還具有一個大型工藝室,可提供多種壓力、溫度和氣流,以實現特定的工藝條件。這使得它非常適合各種材料，從金屬到電介質，以及各種沈積過程，如濺射、蒸發、PECVD和CVD。該機器還提供了硬件配置的靈活性。它可以配置為滿足特定於客戶的應用程序要求,可以選擇更高的功耗、更大的腔室、多個腔室、擴展的鐘形容器以及其他定制的硬件配置。總體而言,Flex 45是一款出色的蝕刻器/asher工具,可在許多不同類型的工藝應用程序中精確控制蝕刻輪廓、表面控制和可重復性。它用途廣泛,可以配置為滿足特定於客戶的需求。LAM RESEARCH Flex 45的快速性能、較大的工藝室以及廣泛的工藝選項,使其成為微納米制造應用的理想選擇。