二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9315042 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一種為半導體器件制造而設計的蝕刻和灰化設備。該系統利用脈沖感應耦合的遠程等離子體過程來實現持續、可重復的蝕刻和低損傷的灰化。顧名思義,它具有45°成角度的工藝室,可實現更均勻的等離子體、更好的邊緣輪廓控制、改進的孔側向定義和均勻的表面清潔。此外,Flex 45還具有可變輸出頻率電源,可用於精確的工藝調整,因此非常適合用於臨界層蝕刻。該裝置還具有若幹先進的監測能力，如實時蝕刻速率傳感器、原位光學點火和原位監測機。這種最先進的工具允許精確和可重復的蝕刻，使它成為一個偉大的工具復雜的結構和極其嚴格的公差。LAM RESEARCH Flex 45具有高級流程控制功能,可確保設備和流程之間的一致性。它配備了多種自動化的過程工具，包括可變脈沖持續時間、波形控制選項以及壓力和溫度控制。這與兩級冷卻功能相結合,可用於各種蝕刻和灰化參數。此外，Flex 45還提供了主要的區域和全局均勻性測量和校正能力，以及針對不同工藝條件和周期的高級誤差補償。這確保了可以一次又一次復制的高質量結果，使其成為大批量生產運行的理想選擇。總體而言，LAM RESEARCH Flex 45是一種先進、精密的蝕刻和灰化資產，非常適合半導體器件制造。其成角的工藝室可實現均勻的等離子體密度、出色的邊緣輪廓控制和均勻的表面清潔。該模型具有可變輸出頻率功率和先進的工藝控制，適用於臨界層蝕刻和實現可重復、高質量的結果。