二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9351376 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款靈活、可擴展的蝕刻器/asher設備,旨在滿足各種等離子體清洗、蝕刻和灰化要求。該系統能夠在一次運行中執行各種過程，如濺射蝕刻、等離子體蝕刻、氧化清潔和深幹蝕刻。它帶有一個直觀的用戶界面，能夠為各種應用程序提供簡單的操作和方便的配方設置。它的高級功能有助於最大限度地減少浪費和最大限度地提高流程可重復性。該單元采用模塊化設計,允許用戶配置多個處理室,為各種蝕刻需求提供靈活可靠的解決方案。它配備了高性能的工藝源，能夠同時操作多達八個等離子體腔室和兩個電源。腔室分別配備必要的硬件、視頻監視器、用於溫度控制的紅外高溫計以及用於獨立過程控制的射頻電源。該機通過手動和可編程的等離子體配方，有效地協調了連續和同時的等離子體過程。Flex 45附帶了一個高級過程控制工具,它通過實時反饋和調整過程參數實現了高質量的過程。其現成的薄膜沈積模塊簡化了沈積過程，實現了對厚度、組成和應力控制的精確控制。其軟件的高級集成使配方數據、過程優化和清理序列的有效控制和管理成為可能。該資產配備了卓越的真空控制和抽水系統，確保了在各種蝕刻應用中的準確和可重復的過程。它還具有用於精確晶圓放置的自動潛水噴嘴、帶有寬工藝窗口的高速淋浴頭以及用於最大限度減少n型和p型汙染的車載回收模型。LAM RESEARCH Flex 45能夠處理多種底物，包括但不限於矽、石英、砷化​​氙和的。總體而言,Flex 45是靈活可靠地處理不同基材的理想解決方案。憑借其先進的工藝能力、控制系統和先進的環境控制系統，可以輕松滿足各種蝕刻和清潔應用的需求。