二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9351459 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款創新的、經濟實惠的蝕刻/灰燼設備,提供卓越的性能和極高的可靠性。此自動化系統具有單一的源、集成的硬件和軟件平臺,易於使用和配置。它集成的多室設計提供了靈活性和一系列選項,以便用戶可以配置工具以最好地滿足其特定的蝕刻/灰燼需求。Flex 45提供了9種不同的工藝模式，包括蝕刻、反應性離子蝕刻（RIE）和灰分模式。它還具有開放式體系結構,允許高度定制。用戶可以從各種蝕刻和灰分化學和腔室配置中進行選擇，以滿足應用程序的特定需求。該單元有效和精確地應用化學和工藝，以提供高質量的蝕刻/灰分結果。蝕刻/灰分機包括一個集成的多級負載鎖定和樣品轉移工具，確保快速高效的基板座椅和樣品轉移。資產的多合一設計消除了為蝕刻/灰燼配置多個組件的需要,從而實現了更快、更準確的設置和處理。LAM RESEARCH Flex 45配備高度自動化的功能集和提供卓越過程控制的綜合控制模型。通過實時監控，用戶可以調整流程，達到最佳效果。控制設備還允許遠程監控和數據記錄,以幫助加快流程開發和故障排除。Flex 45的設計考慮了安全性，配有觸摸屏膜輸入系統和安全額定工藝室。該單元的多合一設計確保在產品中內置必要的安全功能。總體而言,LAM RESEARCH Flex 45是生產線和工藝開發實驗室中蝕刻和灰分的理想選擇。Flex 45以其集成、多室設計、高效的裝載機、過程控制工具以及全面的安全特性，是一款經濟實惠且可靠的蝕刻和灰燼工具。