二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9351460 待售

LAM RESEARCH Flex 45是專門為大規模生產和小模具尺寸而設計的蝕刻器/asher。憑借其精密的設計和創新的特點，它可以提供高蝕刻率、低缺陷率，並便於提高產量。Flex 45的先進技術提高了運營商快速高效地響應生產線不斷變化的需求的能力。設備的垂直工程使操作員能夠輕松地改變雙火把和底板之間的距離，從而在控制晶片周圍溫度的同時最大限度地控制晶片上的蝕刻和灰化程度，以防止對模具邊緣的損壞。此外，LAM RESEARCH Flex 45還可以精確控制蝕刻氣體的壓力和溫度，這種壓力和溫度可以通過集成數字讀出來持續監測。Flex 45 蝕刻器/asher具有多盤盒式系統，允許晶片同時蝕刻和粉刷，增加吞吐量和減少循環時間。它的多個射頻線圈集成在高溫度石英管中，能夠實現數字調諧，從而實現可靠的等離子體蝕刻性能。蝕刻還包括一些能夠安全操作蝕刻器/asher的功能。它具有內置溫度探頭、CO2爆震控制閥等多種安全保障措施，確保安全運行。LAM RESEARCH Flex 45 蝕刻器/asher設計適合大多數系統布局和批量生產環境。其節省空間的設計使其成為任何生產線的通用加法，提供最大性能和可靠性。符合人體工程學的操作站可以方便操作和維護，而液晶為實時客戶提供最新的蝕刻和asher參數。為了增加靈活性，機器還允許硬件升級，例如增加多種流程功能。Flex 45旨在提供最高質量的蝕刻和灰化性能,而其高級用戶界面（UI）使用戶能夠快速查看結果並進行必要的過程調整。LAM RESEARCH Flex 45以其先進的工程、可靠的操作、靈活的設計，是大規模生產、小模具尺寸的完美解決方案。