二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9358660 待售

LAM RESEARCH Flex 45 蝕刻器/asher是一種高性能的化學或等離子體蝕刻和各種底物的灰化工具。它是一種用途廣泛、性價比高的蝕刻和灰化解決方案，非常適合一系列應用，如高速、高通量蝕刻和灰化；低溫蝕刻和灰化；以及嚴格的公差蝕刻和灰度。Flex 45具有集成的射頻發生器和全自動過程控制功能,可處理最復雜的蝕刻和灰化請求。它還具有高級蝕刻/灰選擇功能,使用戶能夠微調其流程,從而在不犧牲吞吐量的情況下實現更好的性能。LAM RESEARCH Flex 45還提供經過全面翻新的子系統,旨在優化客戶流程靈活性和效率。Flex 45配備了一個大型的開放式工藝室，能夠處理尺寸達6英寸的基板。它的自動化過程控制系統使用戶能夠精確控制蝕刻/灰分參數，如功率和基板溫度，以達到最佳性能。此外,LAM RESEARCH Flex 45還具有高級診斷功能,可監視和監控所有流程,從而實現更好的流程控制以及卓越的可重復性和穩定性。Flex 45提供一系列蝕刻/灰化化學物質，如氧化物、氮化物和金屬。它還能夠在廣泛的基材上蝕刻/灰化，如氮化矽、二氧化矽和鋁。LAM RESEARCH Flex 45專為可靠和可重復的操作而設計,並提供卓越的過程控制,確保最佳性能。最後，它的占地面積很小，可以很容易地裝入任何實驗室或制造設施。