二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9358663 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款為半導體行業設計的最先進的蝕刻器/asher。它具有雙源等離子體設備，可實現晶片材料的最佳沈積。這是一個完全自動化的系統，包含一個負載鎖，允許快速晶圓變化和自動沖洗，保持工藝室清潔在長期生產運行。Flex 45利用精確控制的紅外傳感器和先進的控制軟件來精確監控處理環境。LAM RESEARCH Flex 45有一個內部為.85m2的加工室，設置在200pTorr的壓力下。它還利用先進的射頻匹配網絡和軟件控件為每個工藝配方精確調整最佳射頻功率。這導致了非常高的過程穩定性和可重復性，以及提高等離子體均勻性和更好的等離子體誘導的低頻噪聲。Flex 45旨在達到質量和可靠性的最高標準。它旨在結合許多高級安全功能,例如E-Stop安全聯鎖,以及緊急關機後的自動恢復,以及一整套外部和內部聯鎖系統。其預測性健康監測也保證不間斷生產。LAM RESEARCH Flex 45還具有高性能、高效的氣體分配子系統。它可以同時支持多達四個氣源，並且設計用於低成本的每晶片氣體消耗。它使用了一個堅固的氣體分配網絡，以及一個專有的氣體凈化單元，以減少粒子產生和維持過程純度。Flex 45還包括配方管理器計算機,使用戶能夠在數據庫中管理、存儲和分析配方,並使用它們來配置流程步驟。這有助於提高工具利用率和保持工具正常運行時間。最後,LAM RESEARCH Flex 45得到了LAM RESEARCH致力於客戶服務和滿意度的支持。它有各種客戶支持服務作為後盾,並附有一年保修。簡而言之,Flex 45非常適合您的蝕刻和灰化需求。