二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9358666 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一種先進的蝕刻器和asher解決方案,專為沈積、蝕刻、平面化和接觸暴露等多種應用而設計。它是一個強大而堅固的平臺，可容納多達12英寸的基材，最多4個晶圓。Flex 45利用等離子體Expression™技術幫助實現理想的蝕刻和灰化性能和可重復性，絕對無缺陷操作。此外，該設備還配備了最新的安全功能，以改善工藝和操作員的安全。LAM RESEARCH Flex 45專為高可靠性性能和生產效率而設計,提供多種選項以提高性能和生產率。它具有先進的控制器，提供實時的過程優化和集成，與動態過程控制。該工藝氣體控制系統具有背面基板加熱能力，支持各種工藝配方和型材，易於在系統間傳輸。該裝置還配備了自動晶片處理機，可同時轉移多達4個基板。Flex 45內部的集成自動化技術還確保了蝕刻和灰化過程的可重復性。LAM RESEARCH Flex 45還設有一個雙壁等離子體反應堆和一個7傳感器陣列，用於溫度測量和均勻性控制。這允許對等離子體參數進行精確調整，並對等離子體均勻性進行自動對準和實時評估。Flex 45還配備了先進的安全互鎖工具，其中包括多級安全和緊急控制，以及高壓微波發電機控制和緊急關閉。在生產率方面,LAM RESEARCH Flex 45具有高效晶圓傳輸資產以提高吞吐量,以及用於實時驗證和優化過程的自動化數據記錄模型。該設備還包括一種專有的配方Optimization™（RO™）技術，使用戶能夠在不犧牲工藝質量的情況下快速確定最佳工藝配方並最大限度地提高吞吐量。總體而言,Flex 45是一款高級蝕刻器和asher解決方案,旨在實現高可靠性性能和生產效率。它具有先進的實時數據收集控制器、帶7傳感器陣列的雙壁等離子體反應器，用於溫度色調和均勻性控制，以及用於提高吞吐量的自動晶圓處理系統。此外,LAM RESEARCH Flex 45還包括一項配方優化技術,以確保最佳工藝配方和最大限度地提高吞吐量,以及一個全面的安全聯鎖單元和緊急關機,以提高流程和操作員的安全性。