二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9358687 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一種主要為半導體制造應用而設計的蝕刻和灰化機。它能夠蝕刻各種材料，從矽和復合半導體到鋁和金。其獨特的設計以熱源和多個真空室為特色，可以處理直徑達8英寸的任何尺寸晶片。Flex 45還具有控制蝕刻速率、選擇性和實現高精度的能力。LAM RESEARCH Flex 45由運動控制系統驅動，該系統自動對過程步驟序列進行排序，包括射頻偏置和過程氣體控制。還提供了自動晶片預對準裝置，以確保基板在每個加工室中均勻加載。該機還與一個專有軟件包連接，用於配方開發和操作員控制。半導體晶片的蝕刻是一個極其復雜和精細的過程，需要精確控制蝕刻參數。實現理想條件需要精確控制溫度、功率和氣體流量。Flex 45采用了一系列可靠且經過良好測試的技術，如射頻能量、磁控管濺射和等離子體蝕刻。此外，該機還具有一個集成的差分壓力傳感器（DIPS），可精確監控蝕刻工藝條件。LAM RESEARCH Flex 45能夠蝕刻矽晶片，以及化合物半導體，如矽​​金銨和砷化氙。也可用於蝕刻硬質金屬，如鋁和金。Flex 45的工藝模塊設計為易於與各種工藝模塊集成,從而為定制蝕刻工藝提供了高度的靈活性。LAM RESEARCH Flex 45專為性能而設計,旨在以最有效的成本實現最高質量的蝕刻。該機是考慮到安全和環保，按照行業最高標準打造的。Flex 45是蝕刻和灰化系統的絕佳選擇,它提供了對蝕刻過程的精確控制以及定制配方的靈活性。