二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9358689 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一種最先進的蝕刻/asher設備,具有完全集成的等離子體蝕刻和濕蝕刻技術,提供高精度和精確度。這一高性能工具旨在支持各種材料的最佳蝕刻工藝，如半導體、MEMS和太陽能電池等。它具有強大的單晶片級自動化晶片處理功能,這意味著可以為單個晶片設置多個蝕刻過程,從而實現高吞吐量。Flex 45具有關鍵幾何形狀的卓越放置精度,可實現嚴格的過程控制。這種精確度是通過高度精確和可靠的晶圓傳遞系統，加上先進的電極定位器來實現的，以提供異常精確的燒蝕輪廓。此外,LAM RESEARCH Flex 45還配備了一系列像差校正工具,可以優化蝕刻輪廓的控制。Flex 45配備了雙級脈沖直流等離子體發生器，能夠產生高密度的氧等離子體，可同時用於高密度等離子體蝕刻和濕蝕刻應用。該裝置還提供各種蝕刻化學方法，其自動晶圓步進蝕刻能力使其適合大批量生產。在易於操作方面，LAM RESEARCH Flex 45的用戶友好、直觀的圖形用戶界面使其設置、監控蝕刻過程和收集數據以進行分析和過程優化極為簡單。此外，該工具還定期實時監測和評估數據，促進優化過程結果。Flex 45通過其全方位的機電對準功能能夠蝕刻非常大的幾何形狀，為用戶提供了最大的靈活性。該工具還配備了用於精確垂直對齊的先進視覺機，允許高精度蝕刻甚至最小的特征。總體而言,LAM RESEARCH Flex 45是一款功能強大且用途廣泛的工具,可用於蝕刻和濕蝕刻應用,提供精確度和精確度以及高吞吐量。它非常適合眾多行業，如半導體、MEMS、太陽能電池等。