二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9378664 待售

LAM RESEARCH Flex 45是一款高級蝕刻/asper,適用於各種蝕刻和asper應用。它是一種單晶片、多板設備，設計用於高通量、高選擇性蝕刻和asper工藝。該系統配備了強大的Resonant Helicon和Hot Wall ICP蝕刻源，可以精確控制精密蝕刻配方的工藝參數。它還具有先進的工藝控制軟件，實現了無與倫比的工藝控制，從基板到基板。Flex 45可以容納最大3mm厚的寬範圍基板，並能以非常高的重復性和精確度進行蝕刻。它支持每小時最多40個晶圓（WPH）的吞吐量,以及具有全過程控制的復雜蝕刻配方。該單元還支持各向同性蝕刻、各向異性蝕刻、凹槽蝕刻、光刻和硬掩碼蝕刻以及表面特征控制等工藝。機器的諧振螺旋源采用專有調諧技術設計，提供可調功率、波形和頻率。這使用戶可以調整過程結果,如蝕刻速率、輪廓形狀、過程選擇性、asper均勻性和薄膜側壁角。隨附的ICP源支持具有非常低的蝕刻速率和各向同性蝕刻輪廓的過程。共振螺旋源還允許高度均勻的蝕刻深度和低均勻的基線蝕刻。得到的特征深度精度可高達± 1%。LAM RESEARCH Flex 45具有廣泛的功能和選項,使用戶能夠根據自己的需求定制工具。Loadlock資產配備了壓力控制模型，並有大氣和高真空選項。這樣可以快速裝載和卸載基板,同時減少汙染。該設備還具有自動基板夾具的電動運動控制功能，以及為高級蝕刻工藝設計的可變強度熱壁蝕刻源。Flex 45還提供了直接寫入成像解決方案,允許用戶直接寫入基板。此功能消除了掩蔽或傳輸標線的需要,從而減少了可變性,從而允許用戶在提高準確性的同時剃掉寶貴的時間。該系統與氣動閥和軟閥兼容，用於過程控制，從而能夠精確控制過程環境。最後,LAM RESEARCH Flex 45還提供了全自動的數字分析、回溯和視頻監控功能。它擁有先進的旋風控制、創新的臨界維度監測單元以及數字視頻點播選項，用戶可以近乎實時地觀看「蝕刻進度」。Flex 45具有最先進的功能和過程控制功能,是各種蝕刻和精加工應用的理想蝕刻器和精加工。