二手 LAM RESEARCH Flex 45 #9379094 待售

LAM RESEARCH Flex 45是為高性能等離子體蝕刻和灰化應用而設計的高品質蝕刻器/灰化器。這臺設備配有一個3.2米的腔室，並有一個45厘米的六角形壓板。它提供了最高的吞吐量,最大負載為40種基材,每種基材之間的距離為10厘米,並且具有多步蝕刻/灰分配方功能,深度可達18層。Flex 45還提供了卓越的一致性和特征定義控制,同時具有極高的可靠性和經濟性。該系統配備了幾種先進的等離子體工藝，如RF/DC/DC反應性離子蝕刻（RIE）。它專為具有多達18層可重復定義的特征定義的高級蝕刻和灰燼輪廓而設計。與RIE一起使用的等離子體源是帶有預電離器的兩級兩頻射頻源，以最大程度地減少鈍化效應，使良好的均勻性。此外,該單元還為機器提供動態頻率調諧和脈沖功能,以實現卓越的蝕刻和灰分輪廓。LAM RESEARCH Flex 45還配備了增強的原位清潔功能,能夠對高級圖案表面進行高質量的清潔。這包括腔壁塗層和去調保護，以及氮基顆粒和氣相蝕刻。該工具還能夠進行多種工藝，如原位清洗、腔壁烘烤和濺射，以確保卓越的性能和高質量的效果。Flex 45是一款高度可靠的蝕刻器/asher,具有超高精度和精確度,具有令人難以置信的可重復結果。該資產配備了帶有圖形用戶界面（GUI）的4英寸觸摸屏顯示屏，便於操作。它裝在防塵防塵櫥櫃中，以加強保護和安全。此外,它還配備了遠程監視模型,用於通過Web進行遠程支持和訪問。該設備還有一個全面的服務和支持計劃作為後盾，以確保最大的正常運行時間和安心。