二手 LAM RESEARCH Flex 45DD #9011013 待售

LAM RESEARCH Flex 45DD是一種蝕刻器/asher,旨在滿足各種生產需求。它是晶片粘合、表面膜制備和氧化物蝕刻等半導體晶片加工的理想選擇。它具有一個PECVD腔室，使其能夠在晶圓上沈積保形二氧化矽和氮化矽，並能夠進行反應性離子蝕刻（RIE），以實現更精確的圖案化和定義特征。Flex 45DD的靈活設計允許它在各種各樣的生產設置中使用，包括靈活、連續、批處理、集群工具和孤立的asher應用。LAM RESEARCH Flex 45DD利用了高達15,000晶圓的生產面積，最大吞吐量高達每小時380晶圓。該蝕刻器具有一個通用的PECVD腔室，該腔室具有獨立的流量控制閥，可以精確控制氣流、壓力和溫度。它還包括一個可編程的晶圓處理設備，具有可調節的溫度和壓力設置，可調節的間隙控制，晶圓旋轉，以及配方驅動的自動調諧模式。這樣可以精確處理各種基材和晶圓類型。此外，Flex 45DD與廣泛的檢驗和計量系統兼容，提供了對蝕刻和沈積過程的準確測量。LAM RESEARCH Flex 45DD由於其設計特點和集成的系統保護措施，也是可靠和安全的使用。它具有高度集成的控制單元,並具有大量內置的診斷和安全功能,可自動執行過程並確保機器符合工廠安全法規。該工具還具有一個真空室，該真空室具有集成的架空間隙和安全聯鎖系統，以防止操作過程中發生事故。此外,還采用激光燒蝕室清潔設備來確保最佳生產性能,同時內置系統可保護工具和用戶免受停電和超載造成的長期損壞。最後，Flex 45DD是半導體晶圓加工的一種可靠、高效的蝕刻器/灰化器。憑借其靈活的設計、PECVD功能、可調節的間隙控制、晶圓旋轉和自動調諧模式，可以快速準確地處理各種基材和晶圓類型。它還具有許多內置的安全功能,以確保工具的高效和安全運行。