二手 LAM RESEARCH FLEX DS #293628303 待售

LAM RESEARCH FLEX DS是由LAM RESEARCH開發的完全集成的多工藝蝕刻器/Asher設備。它是一個先進的系統，能夠進行各種過程，如蝕刻、灰泥、清潔、剝離和表面準備。該設備的設計考慮到安全性和生產率,采用簡化的體系結構,可確保最大吞吐量和最小停機時間。該機由三個模塊化組件組成：工藝模塊、熱力工具和控制器。工藝模塊由主室和緩沖室兩個室組成。電源室裝有多種工藝氣體、電力和真空端口，用於裝卸晶片。它還容納了氣體輸送資產和過程射頻（RF）電源。緩沖室采用熱控制，達到最佳溫度均勻性和工藝均勻性。火電模型由交流/直流發電機和固態控制高壓開關模塊組成，負責提供蝕刻和灰化過程所需的電源。它確保了一致的輸出電壓和頻率，同時保護設備免受電壓激增和其他電氣異常的影響。控制器模塊配有直觀的觸摸屏控制面板，允許操作員監控和調整過程氣體流量、射頻功率、腔室條件和溫度/壓力設置。它還包括一個用於數據記錄和審查的內置數據庫，以及一個滿足不同流程需求的食譜庫。此外,它還提供了一個包含配方管理、機床診斷和系統控制等附加功能的庫。FLEX DS能夠在各種基板上執行蝕刻和灰化過程,如Si晶片、平板顯示器和3D打印部件。它還包括一個真空監測單元，以確保最大程度的工藝均勻性和清潔度。這臺機器旨在最大限度地提高流程的可重復性和靈活性,同時減少維護和設置所花費的時間。