二手 LAM RESEARCH FLEX DS #293636663 待售

LAM RESEARCH FLEX DS是一種先進的蝕刻/asher工具，用於半導體和其他先進行業，用於創建微結構和其他復雜結構。此工具在配置文件創建和配置文件維護方面提供了流程一致性。FLEX DS具有以高吞吐量和過程精度同時執行多個蝕刻或灰化過程的能力。該工具將熱CVD和等離子體蝕刻/灰化技術結合在多腔室配置和單一晶圓傳遞機制中，以實現高均勻性和過程一致性。LAM RESEARCH FLEX DS有一個15英寸開載、雙微型收縮傳輸系統，高吞吐量。它還有一個集成的真空系統和多室架構，能夠根據每一層或特征的要求使用可編程配方進行多通蝕刻。對於那些需要高選擇性的應用，一個可選的VHF腔室可用於更高的等離子體質量和改進的特征蝕刻選擇性。FLEX DS還配備了最新的實時數據采集和控制系統，用於精確分析和自動化過程控制。這包括一個四口袋質量流控制器，四或八進制光子沈積曝光系統，以及過程氣體輸送和監測。它還具有操作環境和功能強大的自動化工具,可提供自動逐層控制和過程一致性。LAM RESEARCH FLEX DS系統提供多種尺寸和配置,以滿足不同應用程序的特定需求。其工藝技術旨在滿足最苛刻的制圖和沈積要求，以實現高產率和均勻性。FLEX DS系統已集成到幾個工業級的生產過程中,為客戶提供可靠、可重復的設備制造高收益解決方案。