二手 LAM RESEARCH FLEX DS #293642654 待售

LAM RESEARCH FLEX DS是一款用途廣泛、可靠的蝕刻器/asher，旨在滿足半導體制造的需要。利用雙源技術優化了整個基板的蝕刻剖面和沈積均勻性。該技術利用離子轟擊和離子流兩個獨立的來源來確保均勻性和高性能。FLEX DS還配備了獨立的Chuck-to-Wafer-Distance （CWD）設備,允許在蝕刻過程中動態控制工藝溫度和壓力。這消除了手動調整的需要,並確保準確的蝕刻結果。壓力可在0.5巴至10巴之間調節，溫度可在25C至600C之間調節。該系統利用化學輸送單元精確控制感應耦合等離子體（ICP）蝕刻或灰燼化學的濃度。此精度允許在不使用掩蔽層的情況下優化蝕刻結果。LAM RESEARCH FLEX DS配備了先進的診斷工具，能夠在控制和優化蝕刻或粉碎結果方面實現高精度。這些工具提供了實時流程的全面報告,從而實現了流程的優化。其先進的冷卻機可在較長的處理時間內實現較高的蝕刻速率。該工具是為方便維護設計與一個完全封閉的基本單元。這樣可以快速訪問所有主要資產組件,從而最大限度地提高模型正常運行時間和效率。FLEX DS 蝕刻器/asher是半導體材料加工的理想選擇。對於需要高精度和高精度的蝕刻或灰化工藝,它是可靠且經濟高效的解決方案。其用戶友好的設計、高效的組件和先進的診斷工具使其成為最具挑戰性的過程的理想工具。