二手 LAM RESEARCH FLEX DS #293642664 待售

LAM RESEARCH FLEX DS是一種先進的asher/etcher設備,它為材料、半導體和MEMS （Micro Electro-Mechanical Systems）研發領域的用戶提供了一整套功能和特性。憑借其創新的設計,FLEX DS能夠以更高的吞吐量、更低的擁有成本和更好的過程控制提供受控且可靠的蝕刻/灰化過程。通過利用IC指紋蝕刻、多個蝕刻室和本地/遠程處理等先進技術,研究人員可以輕松地將LAM RESEARCH FLEX DS集成到他們的實驗室環境中,並體驗業界領先的過程自動化。系統靈活的設計允許用戶組合多個蝕刻室，並將其與適當的工藝相匹配，無論是深蝕刻、濕蝕刻、熱蝕刻、電化學蝕刻、化學蒸氣蝕刻，還是選擇性材料蝕刻。這使用戶能夠獲得所需的激活能量，同時提高他們所需過程的準確性和效率。FLEX DS ETCH PROCESS在蝕刻定時、溫度、壓力和電源控制方面為用戶提供了無與倫比的精度和靈活性。它還提供了一個直觀且易於使用的流程用戶界面。該單元還能夠支撐線圈、泡沫、開孔網、碳纖維晶格、SiC等多種蝕刻介質。這消除了手動處理的需要,並改善了流程控制。此外,LAM RESEARCH FLEX DS機的設計既通用又小巧.它支持CO2、X-RAY、離子束等多種光束類型以及不同的晶圓尺寸。由於其占地面積小，該工具可以很容易地融入任何實驗室環境，並允許以最小的占地面積進行生產性處理。最後，FLEX DS平臺配備了尖端的診斷和過程監控工具。這包括溫度和壓力監控、多個圖像捕獲和捕獲單元以及TEC-mote軟件。這些功能使研究人員能夠最大程度地方便和準確地測量、監視和分析蝕刻和灰化過程。總體而言，LAM RESEARCH FLEX DS是材料、半導體和MEMS行業研究人員的理想平臺。通過集成高級功能、尖端技術和直觀的用戶界面,FLEX DS使用戶可以更輕松地在蝕刻/灰化過程中實現更高的精度和控制。