二手 LAM RESEARCH FLEX DS #9270877 待售

LAM RESEARCH FLEX DS是一款針對高級流程集成和用戶靈活性而設計的蝕刻器/asher。該設備是在矽、玻璃、石英、金屬等基板上創建關鍵、高質量結構的創新、經濟的解決方案。FLEX DS具有最先進的腔室設計,允許用戶根據所使用的基板和所需的結果,根據自己的特定需求定制工藝配方,從而提供嚴格的工藝控制和最大的靈活性。該系統配有一個5維原位過程控制單元，可確保進程正確運行並具有一致的結果。蝕刻和灰化過程的出色均勻性導致精確的尺寸控制，為用戶提供了質量和可重復性之間的理想平衡。還確保了壓力穩定性和腔室清潔度，從而實現了長期、可靠、清潔的工藝效果。這款功能強大且經濟的蝕刻器/asher由高級部件構成，包括先進的石英淋浴頭、五弧形快門機和先進的超可靠真空泵。對真空泵的性能進行監測，以確保精確的過程控制，優化泵的使用壽命。LAM RESEARCH FLEX DS還提供快速的運行時間和出色的晶圓加載能力。由於腔室溫度可以升高或降低,因此該工具可以靈活安排生產計劃。此外,FLEX DS具有可互換的腔室,可根據需要進行交換。這些強大功能的結合使得LAM RESEARCH FLEX DS成為任何蝕刻或灰化應用的理想解決方案。FLEX DS的設計考慮了安全性和用戶友好性。該資產包括一個封閉的蝕刻/灰化室、一個自動監控光學聚焦的自動對焦模型和一個可編程邏輯控制（PLC），它旨在提供自動化的安全特性和直觀的操作員控制。綜上所述,LAM RESEARCH FLEX DS是一款功能強大且經濟的蝕刻器/石膏,可提供快速的運行時間和精確的過程控制。此設備旨在處理所有需要蝕刻和灰化的應用程序,並為任何需要提供靈活的解決方案。安全特性、用戶友好的設計和可互換的腔室使FLEX DS成為任何需要蝕刻或粉刷基板的項目的有效和可靠的選擇。