二手 LAM RESEARCH FLEX DS #9311091 待售

LAM RESEARCH FLEX DS是一種高級蝕刻器/asher,專門設計用於跨多種半導體材料提供高通量和精確蝕刻。FLEX DS支持蒸氣蝕刻、幹蝕刻、氧化物蝕刻、氧化物灰化等高級蝕刻工藝。為優化工藝性能,LAM RESEARCH FLEX DS采用精確的蝕刻接近傳感器模塊,該模塊不斷檢查蝕刻表面的質量。該系統能夠處理多達600毫米的晶圓，而加工室由不銹鋼構成，增強了隔熱能力，並允許高效、精確的溫度控制。所有關鍵過程都由腔室壓力控制器和嵌入系統的過程控制算法實時監控。為了確保一個一致和可重復的過程，每個FLEX DS都配備了氣體比控制，這是一個保持蝕刻軸氣體/蒸氣成分的功能。LAM RESEARCH FLEX DS采用高科技淋浴頭，旨在優化被蝕刻材料的排斥率，而其先進的動力學等離子體技術則提供卓越的蝕刻分辨率和性能。新的Fuzzi-Free技術通過消除模糊邊和消除蝕刻過程中的入射角變化，提高了蝕刻的均勻性。為確保效果一致，FLEX DS配備了專利脈沖氣體預處理功能，保證了卓越的蝕刻性能。為了安全和均勻性，LAM RESEARCH FLEX DS還配備了獨特的等離子體點火裝置，可以調整以設置等離子體所需的不同能級。此外,FLEX DS還配備了智能SIF固定蓋,可確保每個蝕刻周期前後等離子體的完整性。蓋子還起到了安全屏蔽的作用，並經過測試可承受高達每分鐘210個扭矩循環。LAM RESEARCH FLEX DS是各種亞微米和低k介電蝕刻的理想蝕刻器/asher解決方案。憑借其先進的技術,FLEX DS提供了最佳的性能和優異的蝕刻產量.