二手 LAM RESEARCH FLEX DS #9315255 待售

LAM RESEARCH FLEX DS是設計用於半導體和薄膜工藝的先進蝕刻器和asher室。其設計提供了蝕刻和灰分工藝的超高均勻性，可用於濕蝕刻、幹蝕刻和灰分工藝。FLEX DS能夠蝕刻和灰化直徑不超過3英寸的基板。它具有可調的氣體溫度、壓力和流量。它還具有可調轉速、電平紅外傳感器和ICP射頻功率及匹配控制.它還包括一個用於監視進程參數的遠程操作面板。該腔室針對各種材料進行了優化，其中包括矽、砷化氙和氮化矽。它具有一個完整的陶瓷振鈴改善蝕刻均勻性。該腔室包括一個特別設計的聚酰亞胺襯裏，以確保均勻和可重復蝕刻深度。該腔室設計為與各種化學物質兼容，包括用於深層各向異性蝕刻的SF6、CF4、NF3、C5F8和He/Xe混合物。它還能夠支持使用高壓和低壓廢氣混合物的低壓無烘烤加工。LAM RESEARCH FLEX DS具有先進的5軸機器人，用於精確的晶圓處理。機器人能夠將晶片從負載鎖移動到原位腔室，從原位腔室移動到清潔室。這使得SCARA機器人得以使用，使得轉移晶片更加容易。腔室包括晶圓監測系統，設計用於監測蝕刻和灰分蝕刻過程中晶圓的溫度和壓力。這有助於確保過程得到準確控制。腔室還包括射頻反射測量系統，有助於監測蝕刻輪廓的均勻性。FLEX DS是一種先進的蝕刻和灰化室，旨在提供具有超高均勻性的精密蝕刻和灰分工藝。它能夠蝕刻和粉刷各種材料。其先進的晶片處理機器人使晶片易於傳輸，其射頻反射測量系統確保了蝕刻工藝的最佳均勻性。