二手 LAM RESEARCH FLEX DS #9315257 待售

LAM RESEARCH FLEX DS是一種高級蝕刻器/asher,配置為提供高吞吐量和過程一致性。它旨在滿足小型研究項目的需要，適用於等離子體表面處理、蝕刻、氧化物蝕刻和化學氣相沈積等應用。FLEX DS利用一個大型的加工室，並有一個專有的三區氣體輸送系統，專門設計用於提供均勻、各向同性的蝕刻，以創建聲學、光學和電子結構。該工藝室還提供了廣泛的等離子體功率密度，允許高效蝕刻速率和精確的層深度控制。LAM RESEARCH FLEX DS擁有極低的顆粒生成率，適合醫療器械制造等需要很高清潔度的應用。此外，它的自動化控制系統和集成軟件可以方便地優化針對特定基材和工藝條件的配方。FLEX DS利用絕緣技術來控制高工藝壓力並最大限度地減少基板上的熱印跡。這種絕緣技術旨在有效地穩定腔室內部，減少溫度、功率密度和壓力的波動，從而對蝕刻或灰化過程產生不利影響。LAM RESEARCH FLEX DS具有簡單的模塊化設計,能夠輕松進行維護和故障排除以減少停機時間。可以在無需工具的情況下打開加工室，通過室內化學輸送和排氣疏散安全地處理危險氣體。系統還有一個內置的診斷程序,可以在可能的性能問題變得關鍵之前對其進行檢測。總體而言,FLEX DS是一款高級蝕刻器/asher,能夠執行各種過程,並具有精確的控制和優異的性能。它高效、可靠、安全，旨在滿足研究項目的需要。