二手 LAM RESEARCH FLEX DS #9351457 待售

LAM RESEARCH FLEX DS是一款完全集成的幹蝕刻/灰燼設備，專為先進的半導體加工應用而設計。FLEX DS系統提供高均勻性、重復性和吞吐量,以提供盡可能最低的浪費,同時保持設備生產的最高產量。該單元是一個模塊化單元，能夠在每個工件上提供具有均勻性和可重復性的多個過程序列。它是為最佳的器件產量和生產率而設計的，在最具挑戰性的光刻和沈積過程中提供了優越的效果。該機采用先進的蝕刻室設計，提供了緊湊的占地面積，改進了熱均勻性，提高了吞吐量，優化了工藝參數。腔室配有兩個集成的3-D感應耦合等離子體（ICP）源，它們提供了優於多個晶片基板的覆蓋範圍。基板支撐也具有高度可調性，允許使用不同的基板尺寸和形狀。該工具能夠以一個序列提供四個獨立蝕刻和三個沈積過程，從而縮短了過程周期時間，提高了整體吞吐量。LAM RESEARCH FLEX DS資產還具有直接驅動電機技術,可對整個工件進行高精度、可重復的運動控制。這保證了蝕刻速率的均勻性、沈積的均勻性和附著力的均勻性。此外，該模型還配備了先進的計量和反饋控制系統，可實時測量和控制蝕刻和沈積速率。這允許用戶為工件選擇最佳工藝參數,以確保結果一致。綜合供氣設備還提供精確的氣體比控制和註入不同氣體混合物和濃度的能力。FLEX DS是一個完整的蝕刻/灰系統，設計用於先進的半導體加工，提供卓越的性能和可靠性。它是一種經濟高效的高密度設備制造解決方案,可確保優化的設備產量和生產率。