二手 LAM RESEARCH FLEX DS #9358667 待售

LAM RESEARCH FLEX DS是一款先進的蝕刻/asher設備,旨在滿足各種需求。這臺機器是高度模塊化的，可以根據客戶的確切需求量身定制，包括與大多數化學類型的兼容性。它結合了先進的雙級蝕刻技術,提供精密蝕刻和灰化功能,並具有出色的輪廓控制。該系統專為高吞吐量而設計,具有卓越的多功能性和模塊性。在前端，該單元集成了一個物料處理室和優化的晶圓裝卸系統，以確保最大的負載生產率。它可以同時處理幀和觸點傳輸,並允許輸出托盤的多種配置,以及與標準托盤和盒式磁帶尺寸的兼容性。在後端，機器提供了全面的蝕刻和灰化技術。其特點包括：化學加工室、板式加熱器工具、危險廢物處理室、文丘裏真空泵、工藝控制單元、先進的氣體控制系統，以及其他幾種基本的工藝控制功能。資產還包括完整的配方庫，允許用戶根據確切的工藝需求自定義蝕刻和灰化參數。食譜按類別分類，因此用戶可以根據自己的特定需求快速找到最佳食譜。FLEX DS也是出於安全考慮而設計的。它包括復雜的安全功能，如遠程監測過程監測，以確保操作員的安全。此外，該模型還包括一個高度可見的采樣端口，以維護安全和清潔的環境，並設計為符合全球工人安全法。LAM RESEARCH FLEX DS是一款先進的蝕刻/asher設備，適用於廣泛的應用。它提供卓越的多功能性、精密蝕刻/灰化、高吞吐量和全面的配方庫。此外,它的設計考慮了安全性,並具有復雜的安全特性。