二手 LAM RESEARCH FLEX DS #9401893 待售
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LAM RESEARCH FLEX DS（前稱「FLEX Asher」）是一種高級蝕刻/灰化解決方案，為廣泛的蝕刻和灰化應用提供精確、可重復的結果。該平臺由LAM RESEARCH設計和制造,利用先進的控制技術來確保各個流程模塊在嚴格的流程參數範圍內始終運行。這是半導體、內存和光掩碼設備故障分析等應用中的關鍵功能,因為它消除了由於蝕刻或灰化不一致而導致成本高昂的故障的可能性。FLEX DS是一個廣泛配置的平臺,它提供了一種支持從射頻濺射到高功率等離子體灰燼等各種應用的功能。它被設計成工作與廣泛的基材，從廣泛的材料。它提供了快速轉換、16位感光器和晶片板,用於晶片卡帶到卡帶加載,以及自動工藝發現功能,以確保用戶定義的配方能夠針對不同的材料、厚度和材料進行定制。該平臺采用LAM RESEARCH自動化流程優化技術，確保流程優化和可重復性達到最高水平。自動化過程優化技術使用專有算法來實時密切監視和控制過程參數。這有助於微調蝕刻或灰化過程,使用戶能夠達到最高精度。LAM RESEARCH FLEX DS還支持先進的清潔解決方案。自動清潔和幹燥系統可確保表面的清潔度,使晶片在處理後更容易、更快速地傳輸到另一個模塊或存儲它們。該平臺將診斷程序集成到系統中,從而對任何流程問題進行可靠、高效的故障排除。流程協議在系統中存儲和驗證,確保所有輸出都是可追蹤和可靠的。除了這些核心功能，FLEX DS平臺還提供靈活性和多功能性。這包括多功能模塊、用於多級處理的可編程運動序列和晶圓傳輸，以及軟件控制參數設置，以便在高度復雜的應用中實現最大程度的過程優化。憑借這些特點，LAM RESEARCH FLEX DS非常適合半導體、內存和光掩模器件故障分析行業的研發和生產應用。
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