二手 LAM RESEARCH Flex FS #9284287 待售

LAM RESEARCH Flex FS Asher（Etcher）是一種先進、靈活的蝕刻和清潔設備，旨在高效去除蝕刻和清潔光致抗蝕劑、通用抗蝕劑、聚合物和其他薄膜沈積物。新系統的設計能夠顯著降低交貨時間和過程的可重復性，並具有卓越的問題和特性保證。獲得專利的設計最大限度地減少了可以隨時間改進和維護的碎片和工藝性能,提供了最高水平的吞吐量和工具利用率。Flex FS Asher產品指定了一種雙驅動電機設計,可提供卓越的一致性和過程一致性。該設備與專有的高分辨率、高密度成像機集成在一起,可實現高級現場實時配置文件監控。其他功能還包括高級高電流水平控制、高效磁性壓縮機、板載沈積、蝕刻控制以及高速率沈積和清潔、自動采樣等選項。LAM RESEARCH Flex FS定義明確的模塊化體系結構為客戶提供了更大的戰略靈活性,能夠在需要時升級到擴展的化學和工藝。該工具提供了可為前沿設計定制的工具。Flex FS Asher獨特的資產架構師能夠實現高效、可靠和可重復的過程,從而實現最高級別的吞吐量和可靠性。它的靈活性也有助於降低制造成本，因為LAM RESEARCH模型可以以較少的步驟執行許多復雜的蝕刻配方。內置監控允許您在制造過程的早期快速分析過程的統一性、比較結果和識別潛在問題。通過優化脈沖設計，LAM RESEARCH Flex FS Asher利用配方驅動的高壓脈沖等離子體最大限度地減少了對基板的損壞，最大限度地減少了靜電充電的影響，減少了工藝變化，改善了清潔。該設備旨在去除圖樣化的光刻膠、聚合物和其他薄膜,包括特征尺寸小於180 nm的薄膜,而不引入正向和反向偏置。Flex FS等離子體系統消除了苛刻的化學浴或高壓沖洗的需要，節省了時間和資源。LAM RESEARCH Flex FS是一個先進的蝕刻單元，旨在滿足對先進設備進行快速、經濟高效處理的最嚴格要求。FS Asher機器通過簡化蝕刻工藝、加快上市時間和提供高水平的均勻性,優化了設備生產,以獲得最佳產量和上市時間。