二手 LAM RESEARCH FLEX FX EFEM #9270663 待售

LAM RESEARCH FLEX FX EFEM是一款高性能、大面積的蝕刻器/asher,旨在實現精確可靠的處理。它具有多軸閉環運動設備，具有快速、低慣性級，允許高吞吐量處理和靈活操作，可重復結果。該系統獨特的設計使目標範圍更廣,周期更短。FLEX FX EFEM配有一個多區域氣體面板和兩個腔室隔離門閥，以實現快速、精確的蝕刻和灰化步驟。配備低壓射頻（LP-RF）發生器的等離子體源產生與氣體種類相互作用的磁場，產生等離子體。該等離子體隨後被用於從目標基板表面去除或修飾有機和無機材料。該單元還配備了一個高分辨率的原位監視器，可以測量不同蝕刻和灰化區域的材料變化。該監視器基於晶片光譜，能夠實時反饋過程的進展。此外，前視光學照相機檢查基板的狀態，以確保基板在目標上的精確轉移和對準。該工藝室包括全面的蝕刻和灰化配方，以及優越的均勻性控制工具。LAM RESEARCH FLEX FX EFEM還提供可變腔室和舞臺壓力控制，以及Etch和Ashers腔室的先進溫度控制資產，為各種材料提供最佳條件。FLEX FX EFEM具有快速、精確和可重復的操作,是降低成本和縮短制造時間表的強大工具。其閉環運動控制模型和全面的配方庫確保流程能夠得到優化和仔細監控，提高產量並減少誤差。LAM RESEARCH FLEX FX EFEM具有高度可配置的設計和高級控制功能,是蝕刻或灰燼處理應用程序的理想工具。