二手 LAM RESEARCH FLEX FX EFEM #9270875 待售

LAM RESEARCH FLEX FX EFEM是為精密蝕刻和其他相關應用而設計的一種前沿蝕刻和灰化設備。它具有強大的高級設計,是各種應用的理想工藝工具,如高長寬比蝕刻、熱納米蝕刻和等離子體納米蝕刻。它包括一個集成的真空輔助能力，以提高過程的可重復性。FLEX FX EFEM平臺專為處理當今高級蝕刻和灰化應用的要求而設計。LAM RESEARCH FLEX FX EFEM的先進設計可以處理範圍廣泛的高蝕刻長寬比、大面積、緊密的圖像配準精度和高重復性。它還具有強大的閉環控制系統，可以連續監控和維護流程參數，以滿足或超過流程要求。這讓單位達到了性能的最高標準。FLEX FX EFEM還包含一個板載的蝕刻工具和工藝強國。它的多層材料可以從金屬、陶瓷、絕緣體到有機和半導體材料。這種廣泛的材料為用戶提供了處理不同晶片的靈活性，並保證每次都能達到高精度。此外，該機的高級設計集成了保護和清潔系統，以保證適合最佳蝕刻和灰化工藝的環境。LAM RESEARCH FLEX FX EFEM還包括其他專業功能以滿足獨特的要求。獲得專利的等離子體線角和柵格角分布優化等離子體反應性的最高水平的蝕刻精度和可重復性。它還具有先進的過程控制和用戶定義的設置輸入，以便對過程參數進行更好的控制。總體而言,FLEX FX EFEM是一種高級蝕刻和灰化工具,具有高端特性和功能。它強大的設計和多層材料讓用戶能夠蝕刻不同的晶片，並保證精確和可重復的結果。其板載保護和清潔系統保證了高質量的工藝環境，而其工藝控制和專業特點則提供了全面的工藝控制，並確保了最高級別的蝕刻和灰化精度和可重復性。