二手 LAM RESEARCH Flex Fx #9270876 待售

LAM RESEARCH Flex Fx（蝕刻器/asher）是半導體行業在灰化和蝕刻能力方面領先的一步。其緊湊的占用空間和多種配置使其成為許多不同集成方案的選擇。Flex Fx是為了在蝕刻和灰化氧化物層方面的精度和均勻性而設計的,同時保持嚴密的工藝和溫度控制,這對於精確優化光刻技術和先進的器件形成至關重要。LAM RESEARCH Flex Fx是專為大批量生產而設計的，並提供無與倫比的吞吐量和廣泛的HF化學。蝕刻器/asher的源代碼可用於負載鎖定和固定安裝配置,從而在不同類型的基板上具有很高的靈活性。強大的射頻發生器為精確的過程調整提供了高效的等離子體控制。N2/O2/He氣環提供均勻、嚴密的過程控制.閉環氣源系統還保持穩定的壓力平衡和氣流，以確保穩定的工藝結果。Flex Fx配有一個大的透明視腔，最多支持六個8英寸晶圓，提供最大的處理效率。特別設計的頂層保護環有助於屏蔽腔室頂部,以提高可靠性和可重復性。該設備還具有兩個可選的CoolPAS交付系統,可增加流程靈活性和可重復性。LAM RESEARCH Flex Fx以當今要求苛刻的半導體項目所需的速度和精度提供可靠且可重復的工藝。其強大的構建和高端功能使其非常適合任何開發或生產環境。