二手 LAM RESEARCH Flex Fx #9311093 待售

LAM RESEARCH Flex Fx是為聚酰亞胺、氧化物、金屬和玻璃等柔性基板而設計的先進的多級蝕刻器/asher。其獨特的設計允許用戶使用單個腔室蝕刻和/或粉刷多種材料，包括Al、Ga和Si。Flex Fx配備了多區域等離子體源，可以獨立控制蝕刻或灰化的類型，以及精確調整和調整蝕刻/灰化電壓、電流和氣體化學。LAM RESEARCH Flex Fx還有一個自動化的「SmartMow」系統，用於關鍵模式的註冊和對齊。Flex Fx具有集成的兩區熱處理功能。加熱區輔以旁路冷卻能力，可達到高達20°C/秒的溫度斜坡速率，從而實現高速率蝕刻和基板定向越野等時間臨界過程。極快的冷卻速率使多個沈積過程能夠快速連續地進行。用戶還可以選擇覆蓋特定流程要求的坡度速率。LAM RESEARCH Flex Fx有一系列電荷限制器，以確保樣品受到合理、均勻的功率分配，提供均勻、高質量的蝕刻/灰化結果。它還配備了先進的、與田間有關的氣體分配系統，由液晶屏進行監控，以獲得可靠的性能。Flex Fx附帶了一個全面的軟件包,包括直觀的圖形用戶界面。用戶可以對控制單元進行編程以執行自定義配方,而自動化功能則允許在蝕刻和灰化過程之間自動切換。LAM RESEARCH Flex Fx還兼容多個網絡協議系統，確保與其他自動化設備的無縫集成。總之，Flex Fx是一種先進的多級蝕刻器/asher，非常適合在柔性基板上產生高質量的結果。它的高級功能能夠精確控制蝕刻/灰分參數,而其內置的自動化功能則有助於快速的過程切換和快速的吞吐量。