二手 LAM RESEARCH Flex GX #9261810 待售

LAM RESEARCH FLEX GX是專門為半導體、MEMS和相關行業設計的精密蝕刻/灰燼設備。該系統具有可重復和可定制的流程性能,比手動和離散流程提供了顯著的吞吐量改進。FLEX GX單元具有可靠的低頻、高精度、高性能驅動器和獲得專利的強制空氣冷卻機,有助於保持一致的刀具溫度。該工具還包括一個獲得專利的雙燒蝕頭，允許它一次蝕刻兩個組件。第二個燒蝕頭提供了明顯更高的蝕刻速率和更短的蝕刻時間,使其成為大型和復雜組件的理想選擇。LAM RESEARCH FLEX GX資產旨在優化精度、重復性和吞吐量。它采用直接視覺成像模型，采用先進的方法來實現微米級的精度和重復性。視覺設備的使用提供了一種在蝕刻/灰燼處理之前對材料表面進行表征的方便和準確的方法。FLEX GX系統還提供高級流程控制,允許用戶提高生產率和工具性能。該單元適用於半導體器件制造、MEMS器件制造、光學器件制造、復雜封裝等應用。該機還能蝕刻包括金、銅、鋁、鈦等非金屬在內的金屬。它提供了一個通用的蝕刻過程，允許更大的控制和精確度成型材料。LAM RESEARCH FLEX GX工具結合了精確度、重復性和吞吐量功能,成為半導體行業中滿足蝕刻/灰化需求的理想解決方案。資產的多功能性和靈活性使其適用於廣泛的ASM、光刻和蝕刻/灰化過程。該模型為需要最高級別的工藝控制的行業提供了可靠可靠的蝕刻/灰化解決方案。