二手 LAM RESEARCH Gamma XPR #9365950 待售

LAM RESEARCH Gamma XPR是為半導體工藝而設計的蝕刻器/asher。這款高性能、經濟高效的設備具有廣泛的特性和優勢,非常適合消費電子產品市場中的半導體制造工藝。該系統利用獲得專利的特定於LAM的蝕刻化學技術，精確地蝕刻出高長寬比、深溝和具有精確側壁輪廓的高分辨率特征。伽瑪XPR通過小至1微米的溝槽深度和小於15度的側角蝕刻實現精確的階梯覆蓋。該機組配備了三軸壓電驅動的晶圓處理機，既提供高精度又提供快速吞吐量。這種集成的處理工具使LAM RESEARCH Gamma XPR能夠同時處理三個200毫米或六個100毫米晶圓。此外，其獨特的移動結構可防止晶片對晶片的潛在汙染，從而獲得高度可靠的產品產量。Gamma XPR具有高級資產級別功能,可在灰度、蝕刻和濺射過程中提供前所未有的過程控制。其先進的軟件算法和診斷能夠實現準確的流程監控,從而實現從一次運行到下一次運行的一致流程性能。該模型還采用了LAM的EasyPulse直流電源能力，使其能夠量身定制直流脈沖參數傾斜蝕刻深度分布，從而實現高度精確的蝕刻輪廓。此功能有助於減少對額外的蝕刻後處理步驟的需求,從而節省時間並最終節省資金。LAM RESEARCH Gamma XPR 蝕刻器/asher還得到LAM全面的客戶服務計劃的支持,提供全天候技術支持和主動支持計劃,以確保您的設備高效可靠地運行。這些客戶服務計劃保證您的蝕刻器/asher能夠可靠地運行,並且性能達到峰值。