二手 LAM RESEARCH IGS #9157986 待售

LAM RESEARCH IGS （Integrated Geometry Equipment, Integrated Geometry Equipment）是為晶圓處理而設計的蝕刻/灰化沈積系統。它在單個平臺中結合了多種蝕刻/灰化技術,以創建高級陣列層。其先進的工藝控制確保了關鍵應用的材料均勻性和可重復性。IGS平臺配備了ACPI自動輪廓控制，搜索沈積物料的圖樣密度和輪廓變化，並進行過程調整以確保層精度。它還包括一個背景增強單元，在顆粒密集的區域或加工室底部附近停止蝕刻過程。這些預防性維護功能優化了蝕刻精度,確保了材料的均勻性.LAM RESEARCH IGS機也設計用於多步蝕刻。它允許用戶使用多個腔室通道執行復合蝕刻,從而創建少量材料的復雜模式。它還能夠檢測和斷開需要復雜設計或準確度參差不齊的蝕刻步驟,從而最大限度地減少所花費的時間。對於較大的應用,IGS可以與LAM RESEARCH SMO （Sentry Monitor Oasis）或ELS-A （Edge Lead Strip Automation）系統結合使用。這些自動化系統允許用戶應用層包含和排除,以適應設備集成要求以及高級源和設計。LAM RESEARCH IGS還提供流程可追蹤性,允許操作員自定義數據驅動的工作流過程以滿足客戶的要求。通過此功能,用戶可以跟蹤生產記錄、產量、趨勢和環境數據。IGS提供經濟可靠的蝕刻/灰化功能,為各種關鍵晶片應用程序的高級陣列和沈積過程提供便利,確保設備集成成功。其先進的自動化功能、過程控制功能和數據驅動的可追蹤性工具使其成為一種非常寶貴的設計工具。